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X軸 |
測量范圍 |
50mm（CV-1000）或100mm（）CV-2000 |
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分辨率 |
0.2μm |
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測量方法 |
反射型光柵尺 |
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驅(qū)動速度 |
0.2mm/s\\\\\\\\1mm/a和手動 |
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測量速度 |
0.02-5mm/s |
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測量方向 |
/向后 |
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直線度 |
3.5μm /50mm
1.5μm/mm（當X軸在水平方向上 |
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指示精度
（20℃） |
±（3.5+2L/100）μm
L為驅(qū)動長度（mm） |
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傾斜范圍 |
±45°（CV-2000） |
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Z1軸 |
測量范圍 |
25mm（CV-100）或40mm（CV-2000） |
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分辨率 |
0.4μm（CV-1000系列）
0.5μm（CV-2000系列） |
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測量方法 |
弧形編碼器 |
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指示精度
（20℃） |
±（3.5+14H/25）μm）
H為水平位置上的測量高度（mm） |
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探針上下運作 |
弧形運動 |
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探針方向 |
向下 |
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測力 |
10-30mN |
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跟蹤角度 |
向上 |
77° |
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向下 |
87° |
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探針針尖 |
半徑 |
25μm |
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材料 |
硬質(zhì)合金針尖 |
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基座尺寸（WxH） |
750x600mm（CV-2000） |
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基座材料 |
花崗巖（CV-2000） |
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重量 |
主機 |
5kg（CV-10000N2）、115.8kg（CV-2000M4）、124kg（CV-2000S4） |
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控制裝置 |
14kg |
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遙控箱 |
0.9kg |
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電源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz |
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能耗 |
150W僅限主機 |
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